| 一种高精度双频激光干涉仪 |
| CN202123259432.9 2021-12-23 实用新型 |
| 2022-7-22 |
| 本实用新型涉及激光干涉仪技术领域，尤其涉及一种高精度双频激光干涉仪。其技术方案包括：壳体和主体，所述壳体内部一侧位置处安装有设备室，所述壳体内部背离设备室一侧位置处安装有散热室，所述设备室内部中间位置处安装有主体，所述主体一侧中间位置处安装有激光头，所述激光头设置于壳体外表面。本实用新型解决了现有装置在使用时产生较大热量，导致干涉仪温度升高，无法对其快速降温，干涉仪极易在高温作用下损坏，使用寿命不佳，且干涉仪多使用于机械加工场所，机械运行振动较大，干涉仪自身减振机构简单，减振效果较差，极易导致光学零件损坏的问题，提高了激光干涉仪冷却效率，从而提高激光干涉仪的使用寿命。 |
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