| 检测铁电信号的方法和压电式力显微镜设备 |
| CN202110171821.1 2021-2-8 发明申请 |
| 2021-7-9 |
| 本发明提供一种检测铁电信号的方法和压电式力显微镜设备。方法包含以下步骤。产生输入波形信号，其中输入波形信号包含具有不同电压电平的多个读取电压步骤。将输入波形信号施加到铁电膜。原子力显微镜探针对铁电膜的表面进行扫描以测量铁电膜的表面构形。在将输入波形信号施加到铁电膜的像素时检测原子力显微镜探针的偏转，以产生偏转信号。产生基于偏转信号的像素的频谱数据。分析像素的频谱数据以确定像素的频谱数据是铁电信号还是非铁电信号。 |
微信公众号