| 原子力显微镜系统及其电流检测方法 |
| CN202110246800.1 2021-3-5 发明申请 |
| 2021-7-9 |
| 本申请涉及一种原子力显微镜系统及其电流检测方法，在基于导电针尖自感应探针的原子力显微镜系统中，首先对导电针尖自感应探针施加探针激励信号使其进入振动工作模式进行待测样品当前位置的形貌扫描操作。之后将导电针尖自感应探针切换为静态工作模式实现待测样品当前位置的电压?电流测量操作，最后将导电针尖自感应探针移动到下一位置进行下一位置的检测。上述方案，在进行原子力显微镜形貌扫描的同时，实现局域电阻、或电流的测量或成像。这样，既有动态原子力显微镜形貌成像的优点，即对样品的作用力较小，成像效果好，又有接触原子力显微镜电流测量的优点，可施加较大的斥力作用，可获得稳定可靠的形貌成像和电流测量。 |
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