| 扫描探针显微镜系统及其测量方法 |
| CN202110245433.3 2021-3-5 发明申请 |
| 2021-7-9 |
| 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统及其测量方法，首先根据实际工作模式向导电针尖自感应探针发送对应的探针激发信号使其振动，之后采集导电针尖自感应探针工作振动时的压电响应信号进行分析，得到探针本征机械振动频率变化量。最终进行反馈分析得到实际检测时所需的样品偏压信号和扫描控制信号发送至样品扫描组件，实现待测样品的测量操作。上述方案，采用带导电针尖的自感应探针来实现大气环境的扫描探针显微镜测量成像功能，并且在测量过程中利用探针本征机械振动频率变化量实现频率调制，可提高导电针尖自感应探针测量成像时的机械振动的稳定性，有利于减小导电针尖自感应探针与样品的间距，因而可用于提高静电力成像的空间分辨率。 |
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