| 用于影像测量仪器的载物台 |
| CN202221273639.3 2022-5-25 实用新型 |
| 2022-9-6 |
| 本实用新型公开了一种用于影像测量仪器的载物台,包括依次设置的底层模块、中层模块、上层模块和用于承载被测工件的支撑平板,底层模块包括第一平板和设置于第一平板的第一直线导轨组件;中层模块包括安装于第一平板两侧的固定座、设置于固定座之间的第二平板、连接固定座与第二平板的柔性支撑件、具有多个通孔并以柔性支撑件贯穿多个通孔的方式安装于柔性支撑件的防尘罩、与第一直线导轨组件配合以驱动支撑平板向第一方向移动的第一方向驱动单元、与第二直线导轨组件配合以驱动支撑平板向第二方向移动的第二方向驱动单元。在这种情况下,具有柔性支撑件的载物台能够协助快速精确地测量待测工件并且能够减少平台移动产生的噪声。 |