| 全息显微镜及使用该全息显微镜的半导体装置的制造方法 |
| US17060526 2020-10-1 发明申请 |
| 2021-7-1 |
| 提供了一种全息显微镜，包括：输入光学系统，被配置为发射偏振输入光束； 第一分束器，被配置为通过反射偏振输入光束的一部分来发射目标光束； 以及通过透射偏振输入光束的剩余部分来发射参考光束， 参考光学系统，被配置为将参考光束分成第一参考光束和第二参考光束； 照相机，被配置为接收第一参考光束和第二参考光束以及由检查对象反射的对象光束； 该照相机包括微偏振器阵列，其中第一参考光束的第一偏振轴垂直于第二参考光束的第二偏振轴。 |
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