| 扫描探针显微镜及扫描型探针显微镜控制装置 |
| JP2020532105 2018-7-27 发明申请 |
| 2021-6-24 |
| (2)悬臂，(7)具有探针尖端。 光学系统(80)包括：(2)用激光照射的悬臂，检测由悬臂(2)反射的激光。 (14)被测量，由光学系统(80)检测的激光(2)的位置变化获得基于悬臂的位移，(9)样品的特性。 (20)光调整部，在调整光轴时的激光光斑直径大于试样的激光光斑直径(8)的特性的测量。 (10)在摄像部，探头(7)的光轴的位置的调整期间包括拍摄范围。 (12)具有显示单元，用于显示所拍摄的图像。 |
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