| 扫描探针显微镜的测量装置和用扫描探针显微镜扫描探针显微镜检查测量样品的方法 |
| US16952579 2020-11-19 发明申请 |
| 2021-6-24 |
| 本发明涉及一种用于扫描探针显微镜的测量装置，其包括：样品容器，其被配置为接收待检查的测量样品； 测量探针，其设置在探针保持器上，并具有可测量测量样品的探针尖端； 位移装置，其被构造成使测量探头和样品容器相对于彼此移动； 为了测量所述测量样品，使得所述测量探针为了测量所述测量样品而在至少一个空间方向上相对于所述测量样品执行光栅运动； 控制装置，其与位移装置相连，并控制测量探头和样品容器之间的相对运动； 以及传感器装置，其被配置为检测在测量探头和样品容器之间的相对运动期间执行的测量探头和/或样品容器的实际运动的运动测量信号，以便测量测量样品， 以及将运动测量信号中继到控制装置， 所述运动测量信号指示在干扰光栅运动的第一空间方向上的第一运动分量和在干扰光栅运动的第二空间方向上的第二运动分量，所述第二空间方向横向于所述第一空间方向延伸。 所述控制装置被构造成控制所述测量探头和所述样品容器之间的相对运动，使得所述位移装置通过补偿控制信号分量被所述控制装置作用，所述补偿控制信号分量引起第一反向运动，所述第一反向运动基本上补偿所述第一反向运动的干扰。 在第一空间方向上的运动分量，和/或引起基本上补偿在第二空间方向上的第二干扰运动分量的第二反向运动。 此外，提供了一种包括所述测量装置的扫描探针显微镜和一种用于借助于扫描探针显微镜扫描探针显微检查测量样品的方法。 |
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