| 基于截顶非线性干涉仪的原子力显微镜 |
| US16719437 2019-12-18 发明申请 |
| 2021-6-24 |
| 一种基于截顶非线性干涉仪的原子力显微镜(AFM)，包括输入端口和非线性放大器，该非线性放大器呈现探测光束和共轭光束。 AFM包括与探测光束和共轭光束具有关系的本地振荡器。 AFM悬臂的位移由探测光束，和/或共轭光束或它们各自的本地振荡器来转换。 AFM的相敏检测器检测各个本地振荡器与探测光束和共轭光束之间的相位调制。 检测到的相位调制对应于相位变化。 AFM电路测量指示悬臂位移的相位信号。 得到的测量信号在强度差或相位和正交中表现出量子噪声降低。 |
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