| 一种功率半导体键合压力控制机构 |
| CN202222456101.2 2022-9-16 实用新型 |
| 2023-1-13 |
| 本实用新型公开了一种功率半导体键合压力控制机构，包括连接架，所述连接架的顶部固定安装有安装架，所述连接架正面的底部滑动连接有连接件，所述安装架底部的一侧固定安装有位移传感器，所述安装架底部的另一侧固定安装有下压力发生器，所述下压力发生器包括套筒、圆柱形线圈、圆柱形永磁体与下压力传导杆，所述套筒的顶部与安装架固定安装，所述圆柱形线圈与套筒的中部固定安装，所述圆柱形永磁体与套筒的内部滑动连接，所述下压力传导杆的顶部与圆柱形永磁体的底部固定安装，所述下压力传导杆的底部贯穿套筒的底部。通过控制圆柱形线圈中的电流，控制线圈产生磁场强度大小，从而达到控制永磁体下压力的目的。 |
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