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具有声子晶体的新型原子力显微镜探头

WONL20050797 2020-12-16 发明申请

2021-6-24

本发明属于原子力显微镜探头领域，探针通常由四个协同工作的元件组成，即，用于感测表面的尖端，通常是空腔的光学谐振器，通常是压电的驱动器，以及通常是激光束和用于测量偏转的光电二极管的读出器，包括所述探头的传感器，以及制造所述探头的方法。