| 在透射带电粒子显微镜中研究动态样品 |
| EP18165886 2018-4-5 发明授权 |
| 2021-6-23 |
| 一种使用透射带电粒子显微镜检查动态样品的方法，包括：-源， 用于产生带电粒子束的样品保持器， 用于将样品保持在样品平面中；照明系统， 用于将所述光束引导到所述样品上；成像系统， 用于将透过样品的带电粒子引导到探测器平面中的探测器上，具体包括： 对所述光束进行稀疏化，以便在检测器级产生图像，所述图像包括子图像的分布，所述子图像至少沿着选定的扫描路径彼此隔离； 使用扫描组件使所述图像和所述检测器在时间间隔t内沿所述扫描路径相对运动， 以便将每个子图像涂抹到所述检测器上的检测条纹中，每个这样的条纹在所述时间间隔t期间捕获其相关子图像的时间演变。 |
微信公众号