| 一种微型化激光干涉仪 |
| CN202222539507.7 2022-9-26 实用新型 |
| 2023-2-3 |
| 本实用新型公开了一种微型化激光干涉仪，其特点是该激光干涉仪由微型化稳频光源模块、干涉光路模块、角反射镜和数据处理模块组成，将其集成在一起，实现微型化设计，所述干涉光路模块包括：微型化分束器、微型化角反射镜、玻片和微型化光电探测器，利用玻片实现参考光相位调制；所述探测光通过安装于目标物上的角反射器返回后与参考光干涉，并由光电探测器探测；所述数据处理模块对光电探测器输出信号进行处理，实现具有运动方向判断功能的高精度位移测量。本实用新型与现有技术相比具有微型化、低成本的优点，使应用不再受到安装空间的限制，可广泛应用于狭窄环境下的精密测量领域，进一步拓宽了激光干涉仪在工业环境中的应用场景。 |
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