| 一种基于激光干涉仪的综合检测平台 |
| CN202222676962.1 2022-10-11 实用新型 |
| 2023-3-14 |
| 本实用新型涉及综合检测平台技术领域，尤其涉及一种基于激光干涉仪的综合检测平台，其中包括：激光干涉仪、分光镜组、连接滑块、检测直线导轨和检测导轨钳制器，两个检测直线导轨平行设置在机台的台面上，激光干涉仪和分光镜组设置在连接滑块上，连接滑块设置在检测直线导轨上，连接滑块底部设置有用于对连接滑块限位的检测导轨钳制器，本实用新型通过激光干涉仪检测机构，克服了设置后检测到的定位精度和直线度等参数如果不符合设计要求，便需要进行拆机和退换货的问题，采用了本实用新型技术方案后，可通过一套的激光干涉仪组合一套线性镜组或直线度镜组便可以测量多种直线运动机构的定位精度或直线度数值，简化操作人员调节流程。 |
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