| 发射针、电子源、电子显微镜及大半径电子束形成方法 |
| CN202110170117.4 2021-2-5 发明申请 |
| 2021-6-18 |
| 本发明提供了一种发射针、电子源、电子显微镜及大半径电子束形成方法，涉及电子显微镜技术领域，解决了发射灯丝释放的用于照明的电子束半径范围较小，亮度低，影响扫描速度的技术问题。该发射针位于电子源中发射电子，其包括针本体，针本体靠近吸出极的一端存在有发射面，且发射面的半径r大小满足20um≤r≤200um，且吸出极上的光阑允许发射面发射出的用于照明的电子束经过。上述电子源包括具有光阑的吸出极和上述发射针，光阑的孔径与发射面发射出的用于照明的电子束直径相适配。本发明发射针的前端形成发射面，用于照明的优质电子束半径范围较大，提高亮度，增大扫描速度，减少扫描时间，实现快速扫描；更适用于大束流和多束分束系统。 |
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