扫描探针显微镜
 
JP2021005980  2021-1-18  发明申请

2021-6-17
 
  “问题”提供一种能够提高样品表面上的凹凸形状的测量效率的扫描探针显微镜。 “解决手段”使探针2a接触试料S的表面,用探针2a间歇地扫描试料S的表面的扫描型探针显微镜A,在顶端具有探针2a的悬臂梁2和探针2a与试料S的表面接触的状态下,将试料S和探针2a分离的驱动部5,以及在分离动作中的悬臂梁2。 图1是选择图。
 
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