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一种空间扫描探针显微镜

CN201911263197.7 2019-12-11 发明申请

2021-6-11

本发明公开了一种空间扫描探针显微镜，属于显微镜领域，目前的扫描探针显微镜缺点在于只能看到材料表面的形貌特点，但材料内部的原子特点无法进行观测，多种材料混合时就无法进行观测内部特点。本发明提出了一种通过原子层沉积技术构建材料空间结构的扫描探针显微镜。这样就可以观测到多种材料混合时内部原子空间分布。