| 一种晶圆强度测试机 |
| CN202223514189.5 2022-12-28 实用新型 |
| 2023-5-2 |
| 本实用新型公开了一种晶圆强度测试机，包括底座、晶圆放置座、晶圆固定组件、移动组件、支架、位置调节组件、固定架、气缸、安装座和晶圆强度检测探针，所述移动组件设于底座上，所述晶圆放置座设于移动组件上，所述晶圆固定组件设于晶圆放置座上，所述支架设于底座上，所述位置调节组件设于支架上，所述固定架设于位置调节组件上，所述气缸设于固定架上，所述安装座设于气缸的输出轴上，所述晶圆强度检测探针设于安装座上。本实用新型涉及晶圆测试技术领域，具体是提供了一种便于对晶圆进行固定，能满足不同规格晶圆的固定需求，便于对晶圆的不同位置进行固定的晶圆强度测试机。 |
微信公众号