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原子力显微镜
TW109100263 2020-1-6 发明授权
2021-6-11
本发明公开一种原子力显微镜其包含有一光发射器、一聚光透镜、一侦测件、及一光检测装置。所述光发射器能朝向所述聚光透镜发出一光线以使所述光线穿过所述聚光透镜后聚焦于一聚焦位置。在所述光线穿过所述聚光透镜后于所述侦测件反射而后能被所述光检测器接收。所述侦测件能侦测一待测物的表面轮廓并且所述光感测装置能在接收所述光线后产生相对应的电流值进而使所述原子力显微镜能呈现所述待测物的表面轮廓。
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