一种透射电镜样品中心位置的调节方法
 
CN202110247990.9  2021-3-6  发明申请

2021-6-4
 
  一种透射电镜样品中心位置的调节方法,包括:(1)衍射测试前调节:先将样品置于成像区域中心,再将样品台先后旋转至正、负对称角度下,采集样品的两张实空间放大图像,进行卷积计算,根据图像关联信息的相似性,调节样品台高度,再改变样品台先后旋转的正、负对称角度,重复操作并调节至共心高度;(2)衍射测试中调节:切换为衍射模式,调节转角速度后,启动样品台的旋转,按照固定的曝光间隔,收集样品的衍射图像以及散焦后的图像,通过计算机图形学的方法,计算出样品中心的移动方向和距离,调节样品台,将样品移动至衍射区域的中心。本发明方法能实时获取样品的位置信息并调整,固定在衍射区域的中心,衍射数据收集的效率和质量高。
 
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