| 发射针形成方法、发射针、电子源及电子显微镜 |
| CN202110323708.0 2021-3-26 发明申请 |
| 2021-6-4 |
| 本发明公开了一种发射针形成方法、发射针、电子源及电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，发射针形成方法包括将直径为0.1?0.5mm的柱形体的部分置入电化学腐蚀液中，向电化学腐蚀液中通入第一电流，柱形体与电化学腐蚀液发生电化学腐蚀，直至柱形体靠近电化学腐蚀液液面的位置断开形成上下两段；将上段柱形体的断开处置入电化学腐蚀液的液面以下，向电化学腐蚀液通入第二电流，第一电流的强度大于第二电流的强度，上段柱形体的断开处与带电流的电化学腐蚀液n次接触，n为大于或等于0的正整数，直至断开处的端面形成半径大小为0.1?0.3um的圆滑表面。如此设置，将存在凹凸不平处和微裂纹的部分腐蚀掉，形成圆滑表面，电子发射过程会更加均匀和稳定。 |
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