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激光干涉仪
UAA200806221 2008-5-12 发明授权
2010-2-25
激光干涉仪涉及一种测量工程,可用于在生产仪器制造装置,用于测量直线,角向和其它值。本发明的要点是激光干涉仪,它实际上,它由激光辐射源,支架和测量臂在光学块的处理系统和辐射增加的结果的指示包括单元,用于通过支撑臂的长度变化的类似噪声的规律连接到光反射器的支撑臂。这样的实现激光干涉仪使得可能增加的能力分离的光学-电子区间干涉仪,由于增加了干涉仪的应用区域。
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