| 一种扫描电子显微镜真空腔室内电磁干扰消除系统及方法 |
| CN202110034838.2 2021-1-12 发明申请 |
| 2021-6-1 |
| 本发明涉及一种扫描电子显微镜真空腔室内电磁干扰消除系统及方法。该消除方法采用的主动降噪技术能够实时检测外界引入的干扰信号，当干扰信号中存在与工频信号不一致的干扰信号时，利用嵌入式系统内置的信号发生器发出与干扰信号频率相同、传播方向相同、且相位相差180°的干涉波，叠加干涉波以及干扰信号，以消除干扰信号。本发明能够实时消除真空腔室内的干扰信号，在提高图像信噪比、改善图像质量的同时，不影响扫描电镜使用寿命和工作效率。 |
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