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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于原子力显微镜的测量探针的制造方法

PL43185919 2019-11-20 发明申请

2021-5-31

本申请的主题是一种制造原子力显微镜测量探针的方法，其特征是由以下步骤依次组成(a)基板的提供/制备(1)；(b)在基板上制作第一光刻电阻模具层(2)，定义至少一个测量探针的光束形状；(c)在基板上制作至少一个探针的刀片模具；(d)在步骤B制作的光刻电阻模具中电镀金属；e)在步骤E制作的光刻电阻模具中电镀金属；g)从电阻(2)和基板上化学去除模具。