| 自旋净化器具有重力仪，gravisensor和弹性板 |
| KR1020060022415 2006-3-9 发明申请 |
| 2007-9-13 |
| 目的 : 一种自旋涤气器具有一重力仪，一种重力传感器和一个弹性板是提供以除去颗粒位于在一半导体衬底通过一刷的定位该端部在所述半导体衬底之间的一预定高度和所述表面的水。结构 : 一清洗过程控制部(103)是垂直设置在一旋转洗涤器(110)用于湿清洗一半导体衬底，包括一种重力仪和重力传感器，其被电互连。一种清洗过程执行部(106)。包括一刷部(46)和一个弹性板(28)。待分离的所述刷部是设置从一个延伸线与所述重力传感器连接所述重力仪。所述弹性板是从所述刷部延伸到被位于所述重力仪和所述重力传感器之间。该清洗过程执行部和所述清洗过程控制部被部分地覆盖有上和下盖(14，44)。一种衬底放置部是位于所述清洗过程下执行部，具有一基板卡盘和卡盘支撑单元。该卡盘支撑单元是位于该下基板卡盘到与所述基板接触在接触吸盘，可旋转的。所述清洗过程执行部分被设置到能够重复地移动在所述右和左的方向在所述基板载置部通过所述清洗过程控制部，kipo2007 |
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