| 一种用于薄型样品的扫描电镜样品台 |
| CN202022050397.9 2020-9-17 实用新型 |
| 2021-5-28 |
| 本实用新型实施例提供一种用于薄型样品的扫描电镜样品台，涉及扫描电镜测试设备领域，包括：基座和至少一个夹持组件，夹持组件包括第一夹持体和与第一夹持体可拆卸连接的第二夹持体，第一夹持体与第二夹持体通过相互重叠夹持样品，基座用于承载夹持组件，并与夹持组件可拆卸连接，第一夹持体呈设置有镂孔的片状结构；第一夹持体的材质为具有弹性的导电材料，第二夹持体与基座的材质均为导电材料。通过使用设置有镂孔的夹持体固定样品，最大限度地提高了样品表面的导电点密度，减少了电荷蓄积。通过夹持式固定样品，避免了使用胶带对样品表面的潜在影响。通过使用弹性夹持体进行贴合式固定，降低了夹持体划伤样品表面的可能性。 |
微信公众号