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产业专利数据

扫描电子显微镜

WOJP19045622 2019-11-21 发明申请

2021-5-27

该扫描电子显微镜包括：管理计算机，用于产生电子束的照射控制命令；用于基于照射控制命令产生控制信号的控制块；以及基于该控制信号控制电子束的照射方向的电子束照射控制装置。管理计算机基于由用户选择的扫描类型和由用户设置的扫描参数来生成照射控制命令。