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单片原子力显微镜有源光学探头

US15484747 2017-4-11 发明授权

2021-5-25

一种新的单片原子力显微镜(AFM)有源光学探针，其将探针的基底，悬臂，半导体激光源，AFM尖端和光电探测器单片集成到坚固的，易于使用的单个半导体芯片中，以实现纳米级的AFM测量，光学成像和光谱学。