| 扫描探针显微镜的测量装置和利用扫描探针显微镜对测量样品进行扫描探针显微测试的方法 |
| CN202011322093.1 2020-11-23 发明申请 |
| 2021-5-21 |
| 本发明涉及测量装置、扫描探针显微镜和对测量样品进行测试的方法。用于扫描探针显微镜的测量装置具有：样品容纳部，其设置成用于容纳要测试的测量样品；测量探针，其设置在探针支架上并且具有探针尖，该测量样品能够利用所述探针尖进行测量；移位装置，其设置成，为了测量所述测量样品使测量探针和样品容纳部相对于彼此运动，使得测量探针为了测量所述测量样品而相对于测量样品在至少一个空间方向上实施扫描运动；控制装置，其与移位装置连接并控制测量探针与样品容纳部之间的相对运动；以及传感器装置，其设置成，检测测量探针和/或样品容纳部的实际运动的运动测量信号并将所述运动测量信号发送给控制装置。 |
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