| 透射电子显微镜及其控制方法 |
| EP20207560 2020-11-13 发明申请 |
| 2021-5-19 |
| 本发明提供了一种透射电子显微镜，其在使用由电子束提供的窄照明范围的同时允许TEM成像。 透射电子显微镜(100)包括发射电子束的电子束源(10)和用于将发射的电子束导向样品(S)的照明光学系统(20)。 照明光学系统(20)具有第1聚光透镜(21)， 第2聚光透镜(22)，第3聚光透镜(23)，第4聚光透镜(24)，物镜(28)，以及配置在第2聚光透镜(22)的位置上的聚光孔(26)。 第三聚光透镜(23)和第四聚光透镜(24)协作以使聚光孔径(26)的位置和样品平面(2)彼此共轭。 第一聚光透镜(21)和第二聚光透镜(22)协作以使电子束源(10)和物镜(28)的前焦平面(4)彼此共轭，同时聚光孔径(26)的位置和样品平面之间的共轭关系 (2)由第三和第四聚光透镜(23，24)保持。 |
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