| 使用三维设计用于呈现扫描电子显微镜法之影像及预测基板之缺陷成像条件之系统及方法 |
| TW109122824 2020-7-6 发明申请 |
| 2021-5-16 |
| 本发明揭示一种用于表征一样品之系统。在一项实施例中该系统包含经组态以获取一样品之一或多个影像之一表征子系统及通信地耦合至表征子系统之一控制器。控制器可经组态以：自表征子系统接收一样品之一或多个特征之训练影像；接收与样品之一或多个特征对应之训练三维(3)设计影像；基于训练影像及训练3设计影像而产生一深度学习预测模型；接收一样品之一或多个特征之产品3设计影像；利用深度学习预测模型基于产品3设计影像而产生样品之一或多个特征之经模拟影像；及基于一或多个经模拟影像而判定样品之一或多个特性。.-.- : -; -(3); 3; 3; 3 |
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