| 扫描透射电子显微镜的观察方法，扫描透射电子显微镜系统及程序 |
| WOJP20023022 2020-6-11 发明申请 |
| 2021-5-14 |
| 本发明通过使用具有多个检测区域的分段检测器，能够以高对比度观察样品中的原子。 扫描透射电子显微镜系统100在样品S上扫描电子束EB， 通过使用具有布置在明场区域中的多个检测区域的分段检测器105来针对每个检测区域检测透射通过样品S的散射电子， 基于多个检测区域中的各个检测结果来生成多个分割图像，并且通过对多个分割图像中的每一个应用基于信噪比确定的滤波器来生成重构图像。 信噪比与归一化得到的值成正比， 具有噪声电平， 总相位对比传递函数的绝对值， 该滤波器是通过分别对应于多个检测区域的复数个加权系数和相位对比传递函数的乘积和运算而获得的，并且该滤波器是基于达到最大信噪比的加权系数来确定的。 |
微信公众号