| 一种可气体保护的扫描电镜样品台 |
| CN202021135065.4 2020-6-18 实用新型 |
| 2021-4-23 |
| 本实用新型公开了一种可气体保护的扫描电镜样品台，包括盒体、盒盖和软臂，盒体为圆形或者矩形，盒盖在边缘处有突出，在盒盖与盒体接触面附有粘贴胶，可与盒体紧密粘贴，以实现盒内与盒外气体隔绝；软臂可与盒盖加工成一体，或者通过粘贴或者其他方式实现与盒盖突出处固定。样品台通过气体保护，实现了样品与空气的隔绝。在样品台置于样品交换仓后，通过交换仓的仓门与仓体夹住并固定软臂，待交换仓到达仪器设定的真空度后打开通道阀门将样品推入样品仓。本实用新型使用气体保护的样品台工艺简单，易于制作且成本低廉。 |
微信公众号