| 用于扫描探针显微镜的方法和尖端衬底 |
| EP19203758 2019-10-17 发明申请 |
| 2021-4-21 |
| 本发明涉及一种用于执行SPM测量的方法，其中将样品(3)附接到悬臂(4)并横过尖端扫描。 所述尖端是存在于衬底(1)上的几个尖端中的一个，所述衬底(1)在其表面上包括至少两种不同类型的尖端，从而能够在不更换悬臂的情况下执行需要不同类型的尖端的多个SPM测量。 所述至少两种不同类型的尖端的材料不同， 根据它们的形状或尺寸，和/或根据有源或无源部件的存在或类型，有源或无源部件安装在衬底上或并入衬底中，并与一种或多种不同类型(2a，2b)的尖端相关联。 本发明同样涉及一种衬底(1)，所述衬底包括适合用于本发明的方法中的多个尖端。 |
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