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一种原位透射电镜制样中快速除碳方法

CN202011444162.6 2020-12-11 发明申请

2021-4-20

本发明公开了一种原位透射电镜制样中快速除碳方法，属于透射电镜制样技术领域。该方法采用臭氧处理氧化透射电镜待测样品，除去表面吸附的有机物分子。本发明通过臭氧发生器产生的臭氧，氧化消除样品颗粒表面吸附的有机物分子，从而达到快速除碳的效果。臭氧消除有机物的方式相对温和，不容易造成透射电镜样品微观结构的变化。