| 基于垂直位移扫描的非接触式表面形貌测量仪 |
| CN200620200063.2 2006-1-24 实用新型 |
| 2007-2-7 |
| 本实用新型公开了一种基于垂直位移扫描的非 接触式表面形貌测量仪，它由非接触式光学位移传感器、三维 垂直位移扫描工作台和数字伺服聚焦装置组成，并与其他组件 共同构建了整个闭环控制的非接触式表面形貌测量装置。本实 用新型将聚焦物镜位置固定，通过移动工作台来测量数据，提 高了测量的精度，同时采用光栅衍射得到干涉条纹，通过对干 涉条纹的相移变化得到工作台垂直方向位移的测量数据，大大 提高了测量精度。从而真正实现了高精度、大量程的非接触测 量，并且具有速度快、性价比高的特点。本实用新型可对不同 材料构件的轮廓尺寸、形状、波度及表面粗糙度的二、三维非 接触式综合测量。 |
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