| 一种扫描电镜样品导航方法 |
| CN202011407899.0 2020-12-3 发明申请 |
| 2021-4-9 |
| 本发明涉及电子显微镜表征领域，公开了一种扫描电镜样品导航方法，用以解决未配置导航装置的电子显微镜难以实现样品导航的问题。本发明首先在样品台上标记一个长方形的四个顶点，在电镜中记录四个点在视场中心时样品台的坐标信息，随后粘贴样品，粘贴样品时需将四个标记点露出，并在样品台正上方对粘贴样品后的样品台成像，然后读取四个标记点和样品放置在成像照片中的坐标信息，利用数学上的坐标系变化计算出样品位置在扫描电镜中的坐标信息，最后在样品台控制面板内输入样品位置信息实现样品导航。本发明适用于电镜样品导航。 |
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