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坐标测量仪
CN85104875.7 1985-6-26 发明申请
1986-12-31
一台坐标测量仪,其中一个检测器和一个要测 量的工件,可以制成在三个尺寸方向相对移动,工件 的形状等是由相对移动量来测量。在这种测量仪器 中,一个或几个气动支承装置(55、140、250)是插在 一个可移动件(2、70)和一个固定件(1,100)之间,气 动支承装置的空气流出表面的整个面积,是由相对 于固定的一个或几个预定长度和宽度来确定,并且, 防止因可移动件的重力等,引起测量精度降低。
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