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激光干涉仪用于间隔测量具有基准球定位柱和热不变的材料制成的基板上

DE202004007647 2004-5-10 实用新型

2004-9-16

一参考球面(2)是可转动地耦合到一牢固柱(3)在一基板(4)。一移动后向反射器是跟踪通过测量所述差在所述基准球和所述后向反射器之间的距离。所述基板和后被从一热不变的材料制成。