| 表面微结构与参考轮廓测定仪 |
| DE202013102043 2013-5-10 实用新型 |
| 2013-7-11 |
| 粗糙度rauheitsoder用于所述的测量表面微结构轮廓仪或一个下表面微结构轮廓的一个项目的测试下表面的一个项测试(9),包含 : 一个在一指杆(4)表面接触体(10)用于该粗糙度影响或无触点的集合或所述的表面微结构轮廓该项测试下表面固定; 一个电动或与一个致动器提供的进给运动,用于移动所述表面接触体(10)沿一verfahrweges在一个扫描距离; 一个测量系统(6)用于所述收集的该表面接触的位置体(10)相对于该项测试下表面; 和一驱动器,datenerfassungsund\/或评估电子设备(12)和\/或一个计算机接口,因此,其特征在于,所述的事实本身一个参考轮廓与一个参考表面延伸在所述扫描该扫描的距离的距离或一部分(3)被附着在载体元件和其参考表面的扫描本体(11),以扫描所述参考表面该参考轮廓的(3)是预期的。 |