| 表面微结构部件的测量仪器与模块化结构 |
| DE202013104722 2013-10-21 实用新型 |
| 2013-12-19 |
| 粗糙度rauheitsoder用于所述的测量表面微结构轮廓仪或一个下表面微结构轮廓的一个项目的测试测试下表面(8)的一个项目，包含 : 一壳体(7)，一个压脚，其覆盖一指杆(11)，其基本上设置在所述壳体或其完全在所述壳体(7)被设置或其突出在从所述外壳，其中在所述指状杆(11)至少一个表面触体(9)用于所述粗糙度影响或无触点或准无触点的集合或该项测试下表面的表面微结构轮廓(8)被紧固，一种驱动用于移动所述上表面接触体(9)沿一verfahrweges一扫描的距离在一进给方向，参考引导载体(3)与一个参考电平，其上的一个测量系统载体(4)相对以配合所述进给方向可调节地LED中所述参考电平，至少在所述测量系统载体(4)紧固用于所述收集的一个位置测量系统的所述表面下接触体(9)相对于该项测试表面(8)，一驱动器，datenerfassungsund\/或评估电子，因此，其特征在于，所述的事实所述测量仪器(10)从容易的模块化可替换的单模块(1，2，5，6，12)开发的是，那些至少含所述测量系统测量模块(5); 所述参考导引载波(3)和所述测量系统载体(4)包含参考引导模块(12)，该驱动包含驱动模块(2)和所述驱动器，datenerfassungsund\/或评价含电子的电子模块盖(1)，其中所述壳体(7)中被设置。 |
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