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坐标测量机具有支持,档,滑块和\/或主轴套筒由陶瓷材料如铝的氧化物陶瓷与给定扩展系数
DE20305787 2003-4-10 实用新型
2003-7-31
该机具有一传感器头,其可以在三个空间坐标位移。至少一个结构元件(3,4,6,7,8)制成的陶瓷材料与一种3x10->6×10-6\/K的热膨胀系数或更小是直接或间接安装在所述传感器头和表示一个空间坐标(xyz)。所述结构元件可以包括支持(3,4),横挡(6),滑块(7)和\/或主轴套(8)。所述陶瓷材料可以是铝氧化物陶瓷。
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