| 用于定位设备。 |
| DE3767153 1987-10-20 发明授权 |
| 1991-2-7 |
| PCT专利PCT\/gb87\/00747秒。371日期1988年6月17日秒。102(e)日期1988年6月17日的PCT1987年10月20日提交的PCT分。专利PCTwo88\/02843分。日期1988年4月21日。所公开的装置是一种坐标测量机具有一柱(33)可移动相对于一个对象(11)用于确定该轮廓(12)。一个管(15)可相对于所述柱(33)具有一个透镜(18)聚焦光,以一感测点(19)预期到位于所述轮廓(12)。当,移动所述柱(33)上跨越该轮廓(12),该轮廓(12)相对于所述柱(33)上升和所述透镜(18),该变化是在第一由一光学位置检测传感器(23),它产生一个误差信号(26a)到一个电机(27)使后者移动所述管(15)在所述感测恢复所述感测点(19)到该新位置的所述轮廓(12)。所述管(15)所述的运动被感测到的一个进一步位置传感器(30),其输出信号(30aZ)连接到移动所述柱(33)在所述恢复的读出其先前位置相对于所述管(15)。该后者的信号(30aZ)是成形,以产生一个最初的慢响应所述柱(33)中,使得所述相对更大的惯性其被容纳。 |