| 扫描电子显微镜 |
| US16985700 2020-8-5 发明申请 |
| 2021-2-11 |
| 本发明提供了一种扫描电子显微镜，其能够通过将形态学图像信息与成分图像信息相结合，当通过可视化显示图像时，显示对于用户高度可见的图像。 扫描电子显微镜，用于通过用电子束照射样品来观察样品； 扫描电子显微镜包括：形态学计算单元，被配置为计算从样品获得的二次电子和反射电子中的至少一个的强度数据，以获得样品的形态学图像信息； 分量计算单元34，被配置为计算从样品S获得的X射线能量的光谱数据，以获得样品S的分量图像信息； 以及显示单元50，被配置为显示通过组合形态学图像信息和成分图像信息而可视化的图像， 其中形态学计算单元24被配置为根据由用户输入的一个或多个形态学图像参数来改变形态学图像信息， 并且分量计算单元34被配置为根据由用户输入的一个或多个分量图像参数来改变分量图像信息。 |
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