| JP56121021 1981-7-31 发明授权 |
| 1991-4-17 |
| 目的是 : 通过简单的结构，方便调节，通过检测干涉仪的动镜的位置和中心位置通过移动镜使用激光光束和白色光束。组成 : s3从白光光源产生平行光束经过透镜，光通量ωs2和从激光光源出射的光束彼此平行，升降调节，且使它们以平行于测量的红外光束进入透光性镜BS从collomater厘米。3类型的BS的光束进入透光镜，它们反射的一部分，发射部分，它们相互独立，从干扰波和辐射表。激光干涉仪发出的光线被反映在samle室的方向不改变SC在所述方向上。为了检测移动镜的中心位置为，一位置，其中光检测器D2的输出最大化，被照明的白光光源S3，通过移动镜面之间。移动镜的位置为检测由光检测器检测激光线D3。 |
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