| 扫描电子显微镜及图案测定方法 |
| US16941806 2020-7-29 发明申请 |
| 2021-2-11 |
| 一种扫描电子显微镜，包括：包括电子源和物镜的电子光学系统， 样品放置在其上的载物台， 二次电子检测器，相对于物镜与电子源相邻地设置，并且被配置为检测二次电子； 后向散射电子检测器，设置在物镜和载物台之间，并被配置为检测后向散射电子； 反向散射电子检测系统控制器，被配置为向反向散射电子检测器施加电压； 以及装置控制计算机，其被配置为当在将预定电压施加到反向散射电子检测器的情况下将初级电子施加到样品时，基于在次级电子检测器处的信号强度来检测由反向散射电子检测器携带的电荷的状态。 |
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