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原子力显微镜
CA3147516 2020-7-16 发明申请
2021-1-21
本发明涉及一种用于评估样品表面的原子力显微镜, 包括样品架, 具有适于接收以固定方式安装的样品的第一区域, 探针,其具有能够面对样品表面定位的尖端; 所述显微镜被构造成允许调节所述尖端相对于所述表面的位置, 和支撑体, 样品架具有至少一个第二区域, 与第一区分开并相对于支承件固定, 样品保持器可变形以允许第一区域相对于第二区域的相对运动,显微镜包括能够检测第一区域相对于第二区域的运动的检测器。
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