显微镜和显微镜检查方法
 
DE102019119147  2019-7-15  发明申请

2021-1-21
 
  本发明涉及一种显微镜,其具有用于提供激发光的光源, 照明光束路径,具有用于将激发光引导到物平面中的显微镜物镜; 用于将从样品发射的光引导到物平面中的检测光束路径, 特别是荧光, 照相机或检测器, 扫描装置,用于扫描物平面中的激发光; 该扫描装置具有用于使激发光在第一坐标方向上偏转的第一偏转单元和用于使激发光在第二坐标方向上偏转的第二偏转单元, 并且其中第二偏转单元在照明光束路径中布置在第一偏转单元的下游。 本发明的显微镜的特征在于,柱面光学器件可以选择性地位于第一偏转单元下游的照明光束路径中,或者可以从照明光束路径中移除, 并且其中周期性屏幕装置可选择性地定位在第一偏转单元和第二偏转单元之间的照明光束路径中,或者可从照明光束路径移除。 本发明还涉及一种用于显微镜检查的方法。
 
仿站