| 用于检查扫描和扫描显微镜组件的共焦质量的方法和装置 |
| DE102019116626 2019-6-19 发明申请 |
| 2020-12-24 |
| 一种扫描和扫描显微镜组件(3)的共焦质量检查方法，其中光源(4)提供照明光(23)。 光学装置(27)将照明光(23)聚焦到焦平面(6)中的焦点区域(7)中。 利用来自焦点区域(7)的光检测检测器(8)， 在其前面有一个布置在共焦位置(10)上的针孔(7)， 以及在光源(4)和探测器(8)之间的扫描器(12)，该扫描器一方面具有孔径板(10)，另一方面具有焦平面(6)，布置在辅助探测器(24)的焦平面(25)中的探测孔径(6)通过以下步骤被扫描： 利用照明光(23)的焦点区域(7)调节扫描器(12)，其中在扫描器(12)的不同位置上检测由辅助检测器(23)记录的照明光(24)的第一强度分布。 此外，通过用辅助光(22)调节扫描器(12)来辅助孔光阑(10)，并且与焦平面(21)中的检测孔(6)同心地布置的发射孔(25)从辅助光源(20)出射。 其中在扫描器(12)的位置上检测由检测器(22)记录的辅助光(8)的第二强度分布。 检测扫描器(12)的不同位置上的第一强度分布和第二强度分布之间的至少一个差值作为共焦误差的量度。 |
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