| 伺服阀 |
| JP09339813 1997-12-10 发明申请 |
| 1999-6-29 |
| 要解决的问题 : 以得到一种具有高可靠性的伺服阀使用一种反馈机构具有无效果。电磁噪声，通过制造一激光束被入射到一个光反射部设置在一个活动部连接。以一卷筒，和还设置一激光束用于接收反射的光导入部相对的到所述反射部。溶液 : 一个位置检测部是由一种光的反射镜14安装到一个侧端表面的一卷轴12，和一个光引导部分15用于一个激光束照射到所述镜14和安装到所述壳体的一个伺服阀，用于接收该反射的光。所述以下是由一激光干涉仪27具有一个组分的所述镜14安装到所述卷轴12的所述位置检测部，和一个信号处理部28用于调整和计数一个输出波形从该干涉仪，以操纵所述输出波形为一位移输出信号。所述接收在一个激光束反射的光引导部分是LED以所述干涉仪27，和所述细位移量的所述阀芯是由所述干涉仪27测量到被传输到一个信息处理部作为一反馈信号由一个光纤维。 |
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